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單晶硅除塵設備與普通除塵設備有何不同?

利菲爾特點擊: 2025-01-08

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過濾精度


  • 單晶硅除塵設備:單晶硅生產過程中產生的粉塵顆粒非常細小,通常在微米甚至亞微米級別,如 0.3μm 以上的粉塵都需要高效過濾。因此對過濾精度要求極高,一般采用高精度的濾材和專門的單晶硅除塵設備,如日本進口基材東麗覆膜濾材,PTFE 覆膜處理后對 0.3μm 以上的粉塵過濾效率達 99% 以上。

  • 普通除塵設備:普通工業生產中的粉塵顆粒相對較大,普通除塵設備的過濾精度通常在幾微米到幾十微米之間,如旋風除塵器對于一些較小的顆粒可能無法完全去除,而布袋除塵器和電除塵器等對于較大顆粒的粉塵過濾效果較好,但對于超細微粒的過濾精度相對較低。

防爆性能


  • 單晶硅除塵設備:在單晶硅的生產過程中,尤其是在單晶爐內,可能會產生易燃易爆的氣體和粉塵混合物。因此,單晶硅除塵設備需要具備良好的防爆性能,如采用防爆抽風機、無焰泄爆與隔爆閥等裝置,能有效防止爆炸沖擊對設備和人員造成的傷害。

  • 普通除塵設備:普通生產環境中的粉塵大多不具有易燃易爆的特性,所以普通除塵設備一般不需要特殊的防爆設計和措施,通常只需要滿足基本的安全要求即可。

自動化程度與智能監控


  • 單晶硅除塵設備:為了保證單晶硅生產的連續性和穩定性,減少人工干預可能帶來的誤差和風險,單晶硅除塵設備通常采用獨立 PLC 控制柜,可實現設備自動化運行,并且具有缺相、熱過載和相序保護等功能,還融入了智能化監控與管理模塊,能夠實時監測爐內狀況,及時預警潛在的安全隱患,實現生產過程的全面可視化與智能化管理。

  • 普通除塵設備:普通除塵設備的自動化程度相對較低,部分小型設備可能需要人工手動操作和控制,雖然一些大型的普通除塵系統也具備一定的自動化和監控功能,但在智能化程度和功能的完善性方面不如單晶硅除塵設備。

風機性能


  • 單晶硅除塵設備:需要選用吸力強勁、風量大且具有高可靠、低維護及長壽命特點的多級離心風機,以確保能夠及時有效地吸除生產過程中產生的細微粉塵,防止粉塵在設備內積聚。

  • 普通除塵設備:普通除塵設備根據其處理的粉塵量和工作環境的不同,對風機的性能要求也有所差異,但一般不需要像單晶硅除塵設備那樣高的吸力和風量。

設備材質


  • 單晶硅除塵設備:由于單晶硅生產對潔凈度的要求極高,設備材質通常選用不易產生靜電、不易吸附粉塵且耐腐蝕的材料,以避免因材質本身的問題導致粉塵吸附或產生雜質,影響單晶硅的質量。

  • 普通除塵設備:普通除塵設備的材質選擇主要考慮成本、耐用性和對所處理粉塵的適應性等因素,一般沒有像單晶硅除塵設備那樣嚴格的材質要求。

清潔方式


  • 單晶硅除塵設備:單晶硅粉塵的粘性較大,容易附著在過濾材料表面,因此需要采用特殊的清潔方式,如脈沖反吹、濾芯整體褶皺除灰、內部沉降等方式,以確保過濾效果的持續性。

  • 普通除塵設備:普通除塵設備的清潔方式相對較為簡單,如布袋除塵器通過布袋振動、機械振打等方式清灰,旋風除塵器則主要依靠離心力使粉塵自然沉降等。