光伏產業
在光伏電池的生產過程中,單晶硅是重要的原材料。單晶硅切片環節會產生大量的硅粉等細微顆粒。單晶硅除塵器可以有效收集這些硅粉。例如,國內某大型光伏企業在其單晶硅切片車間安裝了脈沖布袋式單晶硅除塵器。這種除塵器的過濾精度較高,能夠捕捉粒徑在微米級別的硅粉。通過除塵器的高效運行,車間內的空氣質量得到明顯改善,硅粉回收率達到了 90% 以上,不僅減少了對環境的污染,還能將回收的硅粉進行再利用,降低了生產成本。
半導體制造領域
半導體制造過程對環境潔凈度要求極高。在單晶硅晶圓的研磨、蝕刻等工藝過程中會產生微小的硅屑和化學顆粒。單晶硅除塵器可以通過高效的過濾系統和特殊的氣體處理單元,確保工作環境中的顆粒濃度符合半導體制造的高標準。以某知名半導體工廠為例,其采用了組合式的單晶硅除塵器,包括靜電除塵和高效過濾器兩個主要部分。在蝕刻車間,該除塵器能夠去除 99% 以上的顆粒污染物,保證了晶圓生產過程中的良品率,同時也有助于延長生產設備的使用壽命,減少設備因顆粒污染而導致的故障維修次數。
單晶硅材料加工車間
在單晶硅材料的拉晶、切割等加工過程中,會產生粉塵和雜質。比如在單晶硅棒的切割工序中,切割液中會夾雜大量的硅粉。使用單晶硅除塵器可以有效地將這些硅粉從切割液和空氣中分離出來。有企業采用了濕式單晶硅除塵器,將含有硅粉的切割液通過噴淋、過濾等方式進行處理。經過處理后,切割液可以循環使用,減少了切割液的消耗,同時硅粉的去除率達到了 95% 左右,改善了車間的工作環境,避免了工人長期暴露在高粉塵環境中可能導致的職業病危害。